Зеркало для работы с эксимерными лазерами, диаметр: 50.0 мм, рабочая длина волны: 248 нм, угол падения: 45°

Описание

Диэлектрическое зеркало диаметром 50 мм предназначено для работы в эксимерных лазерных системах на проектной длине волны 248 нм при угле падения 45°. Оптическое покрытие нанесено на переднюю поверхность и рассчитано на высокую отражательную способность в узком рабочем диапазоне. Такая конструкция позволяет эффективно перенаправлять УФ-излучение, сохраняя низкие потери на поглощение и рассеяние.

Зеркало выполнено на подложке из кварцевого стекла UV-качества, что способствует стабильности параметров и снижению температурных деформаций при работе с мощным лазерным излучением. Плоскостность λ/10, качество поверхности 10-5 и полезная апертура более 90% подходят для систем, где важны малое искажение волнового фронта и ограниченное рассеяние. При установке следует ориентировать покрытую сторону в сторону падающего излучения и учитывать заданный угол 45°.

Модель рассчитана на высокоэнергетические импульсные режимы: заявленный порог повреждения составляет 1,5 Дж/см² для импульса длительностью 10 нс. При проектировании оптического узла необходимо проверить фактическую плотность энергии, размер лазерного пятна, длительность импульса и чистоту поверхности, поскольку эти факторы непосредственно влияют на ресурс покрытия. Для сохранения характеристик зеркало следует защищать от длительного воздействия влаги.

Характеристики

• Тип: диэлектрическое лазерное зеркало для эксимерных лазеров.
• Артикул: 63-120.
• Диаметр: 50,00 мм, допуск +0,0/-0,2 мм.
• Толщина: 10,00 мм, допуск ±0,2 мм.
• Проектная рабочая длина волны: 248 нм.
• Расчётный угол падения: 45°.
• Отражение на проектной длине волны: 99%.
• Материал подложки: плавленый кварц Corning 7980.
• Качество поверхности: 10-5.
• Плоскостность поверхности: λ/10 P-V.
• Полезная апертура: более 90%.
• Параллельность поверхностей: менее 3 угловых минут.
• Задняя поверхность: матированная.
• Порог лазерного повреждения: 1,5 Дж/см² при импульсе 10 нс.

Отрасли применения

• Оптические тракты эксимерных лазеров с длиной волны 248 нм.
• УФ-системы высокоэнергетической обработки материалов и микроструктурирования.
• Лазерная фотолитография, масочные и проекционные узлы с требованием к качеству волнового фронта.
• Научные и промышленные стенды для перенаправления импульсного УФ-излучения.
• Юстируемые зеркальные узлы, где требуется установка под углом 45° и высокая отражательная способность.

Зеркала TECHSPEC®, идеально подходящие для самых требовательных УФ-приложений, оптимизированы для использования с мощными эксимерными лазерами. Прецизионная подложка из плавленого кварца УФ-класса обеспечивает превосходную термическую стабильность и низкое искажение волнового фронта. Все зеркала рассчитаны на угол падения 45° и обладают очень низкой поляризационной зависимостью.

Линейка зеркал TECHSPEC® специально разработана для самых требовательных лазерных приложений. Сочетая в себе подложки лазерного качества с качеством поверхности до 10-5, с плотным отражающим покрытием и высоким порогом повреждения, зависящим от типа и длины волны лазера, эти зеркала идеально подходят для широкого спектра применений, требующих высокой точности отражения и невероятной прочности. Все зеркала TECHSPEC® спроектированы так, чтобы свести к минимуму потери на рассеяние, и их можно легко установить в любую оптическую систему.