Платформа с пьезоприводом, перемещение: 26 мм

Описание

Платформа с пьезоприводом Edmund Optics 88-549 — это высокоточный линейный транслятор, предназначенный для позиционирования с нанометровым разрешением. В основе ее конструкции лежит гибридный привод, который объединяет преимущества двух технологий. Для перемещения на большие расстояния в пределах всего диапазона 26 мм используется прецизионный шаговый или серводвигатель. Это позволяет быстро и точно подвести объект в заданную область. Для сверхточного перемещения в микро- и нано-диапазоне используется встроенный пьезокерамический актюатор. Пьезопривод, работающий на основе обратного пьезоэффекта, обеспечивает исключительно плавное движение без трения и люфта с разрешением до единиц нанометров.

Ключевым элементом системы является наличие замкнутого контура обратной связи. Встроенный высокоточный датчик положения (например, оптический энкодер или емкостной датчик) непрерывно измеряет фактическое положение подвижной платформы и отправляет эту информацию на контроллер. Контроллер сравнивает фактическое положение с заданным и корректирует управляющее напряжение на приводах, компенсируя таким образом нелинейность, гистерезис пьезокерамики и температурный дрейф. Это позволяет достичь высочайшей абсолютной точности и повторяемости позиционирования, что является критически важным для многих современных научных и промышленных задач. Управление платформой осуществляется программно с компьютера через специальный контроллер.

Характеристики

• Артикул: 88-549
• Тип платформы: Линейный нанопозиционер
• Тип привода: Гибридный (электродвигатель + пьезоактюатор)
• Количество осей: Одна
• Максимальное перемещение: 26 мм
• Разрешение позиционирования: Нанометровый уровень (например, <5 нм)
• Повторяемость: Субмикронная (например, <0.1 мкм)
• Система обратной связи: Встроенный датчик положения (замкнутый контур)
• Управление: Требуется внешний контроллер

Отрасли применения

• Оптоволоконная юстировка: Автоматическое выравнивание одномодовых оптических волокон, волноводов и лазерных диодов для достижения максимальной эффективности связи.
• Микроскопия сверхвысокого разрешения: Сканирование образцов в конфокальных, двухфотонных и других передовых микроскопических системах.
• Полупроводниковая инспекция: Точное позиционирование масок и пластин в процессе литографии и контроля качества.
• Нанотехнологии и материаловедение: Проведение тестов на наноиндентацию, наноцарапание, манипуляция наночастицами.
• Интерферометрия: Используется в качестве подвижного зеркала в интерферометрах для точного измерения расстояний или анализа поверхностей.