8MT200XY основан на паре шаговых (опционально с поворотными энкодерами) или 3-фазных серводвигателях BLDC. Комбинация шарикового винта высокой точности и серводвигателя позволяет пользователю применять высокоточную и самоблокирующуюся систему экономичным способом. Опционально доступен бесконтактный оптический энкодер.
8MT200XY могут быть дополнительно подготовлены для чистых помещений и вакуум до 10-3 Торр. Для более высокого вакуума необходимо согласование с производством. Дополнительное требование чистоты или герметизации может быть поддержано по требованию заказчика.
8MT200XY может быть легко соединен непосредственно к стандартному дюймовому / метрическому оптическому столу.
Трансляторы 8MT200XY могут поставляться смонтированными на алюминиевой плитке 1B-Al, сотовой столешнице 1HB, стандартном оптическом столе 1HT или плоской гранитной плите 1GB, полностью герметичной от брызг и пыли, чтобы обеспечить длительную и надежную работу
Кроме того, моторизованный XY стол с чрезвычайно низким профилем и компактной конструкцией позволяет 8MT200XY быть встроенным во многие различные типы сканирующих систем и легко монтироваться на наиболее распространенных платформах микроскопов.
Особенности:
- Диапазон перемещения: 200 x 200 мм;
- Разрешение: до <1 нм;
- Сверхвысокая точность винта;
- Высокое разрешение бесконтактного оптического инкрементального энкодера (режим двойного цикла);
- Двунаправленная повторяемость: ±0.5 мкм (0.45 мкм СКЗ);
- Максимальная скорость: 50 мм/с;
- Максимальное ускорение: 250 мм / с2;
- Точность: до ±1.5 мкм;
- Длительный срок службы гарантирован;
- Простая интеграция с метрическими / дюймовыми оптико-механическими системами;
- Ортогональность по умолчанию <15 угл. с;
- Все отчеты об измерениях включены по умолчанию.
Технические характеристики:
Модель |
8MT200XY-4247 |
8MT200XY-4247-MEN1 |
8MT200XY-B43-MEN4 |
8MT200XY-B43-MEN4-
| |
Диапазон перемещения (X х Y), мм |
200 x 200 | ||||
Минимальное перемещение, мкм |
0.625 |
0625 |
0.1 |
0.1 | |
Тип энкодера |
- |
Оптический |
Оптический |
Оптический | |
Модель энкодера |
- |
MEN1 |
MEN4 |
MEN4 | |
Разрешение энкодера, мкм |
- |
0.5 |
0.1 | ||
Интерфейс энкодера |
- |
TTL |
Дифференциальный RS422 | ||
Внутренняя интерполяция |
- |
Нет |
Нет |
Нет | |
Коэффициент интерполяции1 |
- | ||||
Период решетки энкодера, мкм |
- |
0.09 |
0.018 |
0.018 | |
Реперная точка (индекс) |
- |
Да |
Да |
Да | |
Тип энкодера |
- |
Оптический | |||
Модель энкодера |
- |
LEn1 | |||
Разрешение энкодера, мкм |
- |
25 | |||
Интерфейс энкодера |
- |
Дифференциальный (RS4221) | |||
Внутренняя интерполяция |
- |
Да | |||
Коэффициент интерполяции1 |
- |
x200 | |||
Период решетки энкодера, мкм |
- |
20 | |||
Реперная точка (индекс) |
- |
Да | |||
Абсолютная точность2 | |||||
до калибровки, мкм/мм |
±8/100 | ||||
после калибровки, мкм |
По запросу |
±3 |
±2 |
±1.5 | |
Односторонняя повторяемость, мкм |
±0.50 | ||||
Двусторонняя повторяемость (пиковое значение)2, мкм |
±2 |
±2 |
±1 |
±0.5 | |
Двустороння повторяемость (среднеквадратичное отклонение)2, мкм |
±1.5 |
±1.5 |
±1 |
±0.45 | |
Допуск на угол тангажа3, мкрад/угловых секунд |
±100.00 / ±20.63 | ||||
Допуск на угол рыскания3, мкрад/угловых секунд |
±30.00 / ±6.19 | ||||
Допуск на угол крена, мкрад/угловых секунд |
±30.00 / ±6.19 | ||||
Максимальная скорость (с нагрузкой 4 кг)4, мм/сек |
30 |
50 | |||
Максимальное ускорение (с нагрузкой 4 кг)5, мм/с2 |
150 |
250 | |||
Тип концевых датчиков |
Датчики Холла | ||||
Полярность концевых датчиков |
Замкнут при срабатывании | ||||
Напряжение питания концевых датчиков, В |
5...24 | ||||
Нагрузка, направляющие, передача | |||||
Шаг шарикового винта, мм |
2 | ||||
Двигатель |
4247 |
B43 | |||
Тип двигателя |
Биполярный шаговый двигатель |
3-фазный BLDC двигатель | |||
Макс. напряжение, В |
48 | ||||
Грузоподъемность (при размещении по центру платформы)6 | |||||
Горизонтальная, кг |
8 | ||||
Вертикальная, кг |
N/A | ||||
Перемещаемая масса7, кг |
9.5 | ||||
Направляющие |
Ультра-точные рециркуляционные линейные рельсы и каретки | ||||
Материалы и условия эксплуатации | |||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав | ||||
Покрытие корпуса |
Черное анодированное | ||||
Давление окружающей среды |
Нормальное атмосферное | ||||
Рабочая температура, °C |
20±2 | ||||
Управление, кабели, интерфейсы | |||||
Рекомендуемые контроллеры8 |
ACS, 8SMC5-USB | ||||
Рекомендуемые драйверы8 |
ACS, 8SMC5-USB | ||||
Блок питания9 |
PS36-4.4-4 | ||||
Интерфейсы подключения12 |
EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP | ||||
Длина кабеля, м |
2 (другие по запросу) | ||||
Дифференциальный выходы10 |
N/A |
По запросу | |||
Дополнительные приспособления | |||||
Основание |
Не требуется | ||||
Сборка Z |
Недоступна | ||||
Дополнительная информация | |||||
Размер подвижной платформы (Ш х Д), мм |
335 x 380 | ||||
Линейные размеры позиционера (Ш x Д x В), мм |
402 x 450 x 76 | ||||
Стандарт размеров |
Метрические / дюймовые | ||||
Ортогональность11, мкрад / угловых секунд |
73 / 15 | ||||
Степень защиты |
По запросу может поставляться со специальной защитой от продувки воздухом и пыли | ||||
RoHS |
Совместима | ||||
Примечания:
1) С квадратурой x4; система может поставляться со стандартным аналоговым SIN/COS энкодером, с возможностью интерполяции сигнала;
2) Абсолютная точность и двусторонняя повторяемость измерены с помощью лазерного интерферометра Майхельсона Zygo ZMI 501;
3) Величины углов тангажа и рыскания выполнены с помощью электронного автоколлиматора 11D-ALI-COL с разрешением 1 мкрад. Основная погрешность: 1 мкрад;
4) Максимальная скорость электрически ограничена частотой энкодера и драйвера; максимальная скорость также ограничена параметрами направляющих;
5) Максимальное ускорение ограничено максимальным током драйвера, максимальным током двигателя и внешней нагрузкой. Требуемые параметры можно согласовать с инженерами при расчете системы;
6) Грузоподъемность ограничена положением нагрузки и системой направляющих. Требуемые параметры можно согласовать с инженерами при расчете системы;
7) Перемещаемая масса – это постоянный параметр, характеризующий момент инерции системы;
8) Рекомендуемые контроллеры и драйверы подбираются исходя из требований к системе;
9) Рекомендуемый блок питания зависит от требуемого цикла работы системы и нагрузки;
10) Дифференционые выходы доступны в пассивном (буфферизация) или активном (модуляция) режимах LCMv2;
11) Платформы могут быть собраны с требуемой ортогональностью поверхностей;
12) Скалярное управление может выполняться через USB/ TCP-IP / RS-232 интерфейсы; векторное управление через EtherCAT.
Модели:
Модель |
Энкодер |
Двигатель |
8MT200XY-4247 |
Нет |
4247 |
8MT200XY-4247-MEN1 |
Да |
4247 |
8MT200XY-B43-MEN4 |
Да |
B43 |
8MT200XY-B43-MEN4-LEN1-025 |
Да (2) |
B43 |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.