Многоканальные модуляторы

Многоканальные акустооптические модуляторы (AOMC) позволяют модулировать или преломлять несколько пучков одновременно и независимо друг от друга путем интегрирования массива преобразователей с одним акустооптическим кристаллом. Фирма G&H свела к минимуму перекрестные помехи с помощью собственных оптических и электрических конструкций, что обеспечивает одновременную работу до 48 каналов для модуляции, и до 8 каналов для преломления луча. Многоканальные модуляторы G&H известны своей надежностью и высокой производительностью.Многоканальные модуляторы чаще всего используются для высокоскоростных приложений, таких как микрообработка и литография прямой записи, так как каждый луч можно модулировать независимо друг от друга. 

Акустооптический многоканальный модулятор (AOMC) работает на основе тех же принципов, как и обычный акустооптический (АО) модулятор, но изготавливается с использованием массива электродов на подложке, таким образом обеспечивая одновременное управление параллельным массивом пучков. Другая акустическая волна дифрагирует каждый входной пучок независимо друг от друга, что позволяет модулировать его интенсивность или отклонять часть пучка в моду 1-го порядка.

По мере увеличения числа каналов в одном устройстве увеличиваются и перекрестные помехи. Либо электрические перекрестные помехи в схемах и электродах, либо акустические перекрестные помехи между различными каналами модуляции. Тепловые перекрестные помехи также могут возникать в процессе работы канала, вызывая термическую деформацию в соседних каналах и изменение акустооптического эффекта. Эти эффекты часто ограничивают максимальное количество каналов, коэффициент контрастности этих каналов или их пространственное разрешение.

Правильное размещение электродов и оптической апертуры оптимизирует производительность. Проектирование соответствующего РЧ драйвера не менее важно для сведения к минимуму перекрестных помех и обеспечения легкого сопряжения для управления более крупной системой. Возможно управление несколькими пучками или массивом коллимированных световых пучков.

Типичный многоканальный модулятор имеет на входе параллельные лучи, каждый работает со своим преобразователем для модуляции интенсивности. Фирма G&H предлагает от 2 до 48 каналов для длин волн от УФ до ближнего ИК, с временем нарастания 7 нс для апертур <1 мм. Многоканальные РЧ драйверы доступны с аналоговой или цифровой модуляцией.
Многоканальный дефлектор пучка генерирует несколько дифрагированных пучков от одного входного пучка в определенных местах путем одновременного применения нескольких частот к одному преобразователю. Каждый отдельный канал представляет собой дефлектор, который может либо сканировать луч или генерировать несколько пятен. Это дает возможность создать двухмерную сетку. Например, если четырехканальный дефлектор был настроен таким образом, что каждый канал дифрагирует в три точки, то результатом была бы сетка 4x3.

Многоканальные модуляторы фирмы G&H обладают всеми параметрами, доступными модуляторам G&H с одним каналом, и могут быть настроены для приложений с большой апертурой, а также приложений с малой апертурой и высокой скоростью.

Высокий порог лучевой стойкости достигается за счет использования слабо рассеивающих материалов, удовлетворяющих строгим стандартам качества. Фирма G&H производит собственный оксид теллура (ТеО₂) и имеет свой источник плавленого кварца и кристаллического кварца высокого качества, что обеспечивает низкий уровень вносимых потерь и отличную управляемость оптической мощностью.

Технические характеристики многоканальных акустооптических модуляторов:

Модель	Рабочий диапазон	Число каналов	Время нарастания/ спада сигнала	Апертура	Рабочая частота	Оптический  материал	Тех. док-ия
AOMC 160-8	364 нм (УФ)	8	21 нс	0.18 мм	160 МГц	Плавленный кварц
AOMC 125-24	350 - 365 нм (УФ)	24	23 нс	0.5 мм	125 МГц	Кристаллический кварц
AOMC 220-5	413 нм (УФ)	5	16 нс	0.24 мм	220 МГц	Кристаллический кварц
AOMC 220-4	350 - 365 нм (УФ)	4	16 нс	0.24 мм	190 - 250 МГц	Кристаллический кварц
AOMC 300-5	413 нм (УФ)	5	10 нс	0.2 мм	300 МГц	Кристаллический кварц
AOMC 350-6	350 - 850 нм (видимый)	6	7 нс	0.33 мм	350 МГц	Диоксид теллура