LMU-3X-UVB - Фокусирующий объектив MicroSpot, 3X, просветляющее покрытие: 240 - 360 нм, NA=0.08, Thorlabs

LMU-3X-UVB – фокусирующий объектив MicroSpot, 3X, широкополосное просветляющее покрытие 240–360 нм, числовая апертура 0,08, Thorlabs.

Описание

LMU-3X-UVB – универсальный средне-УФ объектив начального увеличения в линейке MicroSpot. Он охватывает диапазон 240–360 нм, что позволяет работать с типичными технологическими длинами волн – 248, 266, 308, 351–355 нм – без замены оптики. Невысокая числовая апертура 0,08 даёт более широкое, но глубоко сфокусированное пятно, что уменьшает чувствительность процесса к небольшим смещениям по высоте и упрощает настройку системы.

Оптическая схема построена на кварце и CaF₂ с воздушными промежутками: такое сочетание обеспечивает хорошую коррекцию аберраций во всём диапазоне 240–360 нм и высокую стойкость к импульсным и непрерывным УФ-лазерам. Бесконечно скорректированный дизайн позволяет легко включать в параллельный участок пучка фильтры, модуляторы, разветвители, диафрагмы и другие оптические элементы, что особенно важно для многоцелевых исследовательских и технологических стендов.

Благодаря стандартной резьбе RMS LMU-3X-UVB быстро интегрируется в существующую оптомеханику и микроскопные системы. Объектив часто используют как “рабочий” инструмент для грубых операций обработки, экспонирования или тестирования в УФ, когда не требуется предельное разрешение, но важен контроль процесса, большая глубина фокуса и возможность работы на нескольких длинах волн в одном тракте.

Отрасли применения:

• Многоцелевые УФ-установки для работы на 248, 266, 308, 351–355 нм без смены объектива.
• Грубая и предварительная микролитография, экспонирование и микрообработка с повышенными допусками по фокусу.
• Исследование деградации и стойкости материалов под действием различных УФ-длин волн.
• Инспекция УФ-оптики и фоточувствительных структур с умеренным пространственным разрешением.
• Лабораторные стенды по отработке новых технологических процессов в среднем УФ.

Характеристики

• Тип: широкополосный средне-УФ объектив MicroSpot.
• Увеличение: 3X.
• Диапазон просветляющего покрытия: 240–360 нм.
• Числовая апертура (NA): 0,08.
• Оптические материалы: кварц и CaF₂ с низким поглощением в среднем УФ.
• Конструкция: бесконечно скорректированная, воздушно-разнесённая, рассчитанная на высокие плотности энергии.
• Фокусное пятно: относительно крупное, с увеличенной глубиной фокуса (по сравнению с 10–40X моделями).
• Резьба крепления: RMS (0.8"-36).
• Назначение: процессы в диапазоне 240–360 нм с акцентом на гибкость по длинам волн и простоту юстировки.