Вертикальная/наклонная платформа A‑523.25005B3 предназначена для линейного перемещения по оси Z, а также для наклона вокруг осей X, Y. Данный позиционер относится к системам параллельной кинематики и оборудован тремя независимыми линейными двигателями с энкодером. Если все три привода приводятся в движение синхронно, то столик будет двигаться только вдоль оси Z. Если приводы работают асинхронно, то перемещение будет складываться из смещения вдоль оси Z, и наклона вокруг осей X, Y. Благодаря использованию воздушного подшипника, платформа A-523.25005B3 перемещается с очень малым трением, не требует смазки и обладает длительным сроком службы. A-523.25005B3 подходит для работы в чистых помещениях. Для управления позиционером A-523.25005B3 могут использоваться контроллеры серий A-81x или A-82x. При заказе с данными контроллерами PI выполняет настройку и оптимизацию характеристик сервопривода для указанной нагрузки.
Платформа A-523.25005B3 предназначена для работы только в горизонтальном положении.
Применения:
- Контроль полупроводниковых пластин;
- Юстировка оптоволокна;
- Юстировка оптических компонент;
- Контроль дисплеев;
- Безмасочная литография.
Технические характеристики:
|
Параметр |
А-523.25005В3 |
Допуск |
|
Активные оси |
Z, θX, θY | |
|
Диапазон перемещения Z (1) |
5 мм |
Макс. |
|
Диапазон вращения θX (1) |
2° |
Макс. |
|
Диапазон вращения θY (1) |
1.6° |
Макс. |
|
Ускорение Z |
10 м/с2 |
Макс. |
|
Максимальная скорость Z |
200 мм/с | |
|
Вращение θX при движении вдоль Z |
± 25 мкрад |
Тип. (2) |
|
Вращение θY при движении вдоль Z |
± 25 мкрад |
Тип. |
|
Двунаправленная повторяемость Z |
± 0.25 мкм |
Тип. |
|
Двунаправленная повторяемость θX |
± 8 мкрад |
Тип. |
|
Двунаправленная повторяемость θY |
± 8 мкрад |
Тип. |
|
Точность позиционирования Z, калиброванная (3) |
± 0.5 мкм |
Тип. |
|
Точность позиционирования θX, некалиброванная |
± 15 мкрад |
Тип. |
|
Точность позиционирования θY, некалиброванная |
± 15 мкрад |
Тип. |
|
Минимальный шаг Z (4) |
0.01 мкм |
Тип. |
|
Минимальный шаг θX |
0.06 мкрад |
Тип. |
|
Минимальный шаг θY |
0.06 мкрад |
Тип. |
|
Встроенный датчик |
Абсолютный линейный энкодер | |
|
Интерфейс датчика |
BiSS-C | |
|
Разрешение датчика |
1 нм | |
|
Тип привода |
3-фазный линейный двигатель | |
|
Номинальное напряжение |
48 В | |
|
Пиковое напряжение |
80 В | |
|
Номинальный ток, среднеквадратичный |
0.8 А |
Тип. |
|
Пиковый ток, среднеквадратичный |
1.5 А |
Тип. |
|
Силовая постоянная |
10 Н/A | |
|
Сопротивление фаза-фаза |
23.5 Ом |
Тип. |
|
Индуктивность фаза-фаза |
5.2 мГн | |
|
Противодействующая ЭДС фаза-фаза |
10 В·с/м |
Макс. |
|
Направляющая |
Направляющая с воздушным подшипником, с воздушным предварительным натягом | |
|
Допустимая нагрузка вдоль оси Z (5) |
80 Н |
Макс. |
|
Общая масса |
8.2 кг | |
|
Материал |
Твердосплавный алюминий, элементы крепления из нержавеющей стали | |
|
Разъём |
HD D-sub 26 (п) | |
|
Соединение воздушного подшипника |
Разъёмное соединение для шланга с наружным диаметром 6 мм | |
|
Рабочее давление |
От 515 до 585 кПа (от 75 до 85 фунтов на квадратный дюйм) | |
|
Расход воздуха |
84 л/мин |
Макс. |
|
Качество воздуха |
Чистый (отфильтрованный до 1.0 мкм или выше) - ISO 8573-1 класс 1; без масла - ISO 8573-1 класс 1; сухой (точка росы -15 °C) - ISO 8573-1 класс 3 | |
|
Рекомендуемые контроллеры / драйверы |
А-814 (четыре оси), A-82х (4/6 осей) | |
|
Диапазон рабочих температур |
От +15 до +25 °C |
(1) Диапазоны перемещения отдельных координат (Z, θX, θY) взаимозависимы. Данные для каждой оси в таблице показывают ее максимальный диапазон перемещения, где все остальные оси остаются неподвижными и находятся в начальном положении;
(2) Типичное значение;
(3) Калиброванную точность можно получить только с помощью компенсации ошибок в контроллере. Платформа должна быть заказана с контроллером PI для достижения указанного значения. Значения точности предполагают краткосрочную продолжительность и не учитывают долгосрочные эффекты теплового дрейфа;
(4) Минимальный шаг напрямую связан с характеристиками контроллера. Характеристики можно улучшить, используя опцию ServoBoost+ контроллеров ACS SPiiPlus;
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
