Система позиционирования PZ 250 CAP WL Piezosystem Jena разработана для точного позиционирования разных типов пластин диаметром до 12 дюймов. Подъемники PZ 250 CAP WL с системой обратной связи позволяет осуществлять смещение вдоль оси Z на расстояния до 250 мкм. Шаг смещений в данном диапазоне может составлять несколько нанометров. Представленные подъемники отлично подходят для задач полупроводниковой промышленности, литографии, производства солнечных батарей и т. д.
|
Особенности: - Скорость позиционирования на уровне миллисекунд; - Шаг позиционирования с нанометровым разрешением; - Стабильность положения в пределах нескольких нанометров; - Высокая стабильность; Опции: - Вакуумный зажим; - Модели для работы в вакууме; - Активная коррекция наклона
|
Применения: - Полупроводниковая промышленность, солнечные батареи; - Литография - Производство экранов; - Структурирование поверхности; - Контроль качества поверхности; - Проверка токопроводящих соединений; - Контрольно-измерительные системы; - Контроль качества. |
Технические характеристики подъемников серии PZ 250 CAP WL Piezosystem Jena:
|
Параметры |
Ед. изм. |
PZ 250 CAP WL |
|
Чертеж: |
– |
|
|
Ось перемещений |
– |
Z |
|
Смещение без ОС (±10%) * |
мкм |
350 |
|
Смещение с ОС * |
мкм |
250 |
|
Емкость |
мкФ |
86,4 (12 x 7,2) |
|
Встроенная система обратной связи |
– |
Емкостной датчик |
|
Разрешение** |
нм |
3 |
|
Стабильность (тип.) |
нм |
±3 |
|
Резонансная частота без нагрузки |
Гц |
50 |
|
Резонансная частота с нагрузкой в 1800 г |
Гц |
10 |
|
Точность ширина шага |
нм |
5 |
|
Мин. отклонение по осям X/Y |
нм |
20 |
|
Длина кабеля |
м |
по запросу |
|
Материал |
– |
Алюминий |
|
Размеры (д х ш х в) |
мм |
400 x 380 x 20 |
|
Вес |
г |
2500 |
|
Рабочий диапазон температур |
°C/F |
-20 … +80/-4 … 176 |
* Типичные значения, измеренные с помощью усилителя 30DV50;
** Разрешение ограничено только шумом усилителя и системой измерения.
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
Обратная связь по сайту
Что-то пошло не так или у вас есть идея по улучшению сайта? Сообщите, и мы всё поправим