Разрешающая таблица P-TTT-2-1200 была специально разработана для определения характеристик терагерцовых систем визуализации. Обладая структурами и областями с поперечным размером от 2 мкм до 8 мм, она подходит для стандартных систем с ограничением дифракции, а также для систем визуализации ближнего поля с субволновым разрешением.
Разрешающая таблица изготовлена на основе кремния с высоким удельным сопротивлением и содержит участки проводника с тремя различными коэффициентами пропускания, а также участки подложки без покрытия с максимальным коэффициентом пропускания. Представленные структуры включают в себя классические разрешающие тестовые структуры, такие как ортогональные пары трехполосных структур, звезда Сименса и концентрические кольца. Эти типичные структуры сопровождаются дополнительными структурами, особенно полезными для целей визуализации ближнего поля, такими как структуры из метаматериала, создающие ограничение локального поля. Кроме того, также перечислены области, полезные в качестве справочных материалов для визуализации сопротивления поверхностного слоя и приложений сканирования пластин.
Структура разрешающей таблицы
Технические характеристики:
|
Параметр |
Значение |
|
Материал подложки |
Кремний FZ с высоким удельным сопротивлением, полированный с 2 сторон |
|
Удельное сопротивление подложки |
>10 кОм · см |
|
Общий размер разрешающей таблицы |
2" х 2" (50 мм х 50 мм) |
|
Толщина подложки |
525 мкм |
|
Материалы покрытия |
Cr, Au |
|
Толщина покрытия |
Cr: 10 нм, 50 нм и 60 нм (в полупрозрачных областях) Au: 50 нм (в непрозрачных областях) |
|
Перпендикулярные пары трехполосных структур |
2 пары: линии шириной и расстояния между ними 1200 мкм 2 пары: линии шириной и расстояния между ними 460 мкм под углом 45° |
|
Звезда Сименса |
Внешний диаметр 6 мм, 18 элементов |
|
Перевернутые кольца Ньютона |
Внешний диаметр 5.6 мм Ширина кольца от 10 до 500 мкм с увеличением |
|
Непрерывные Rsh эталонные области |
Четыре области, каждая 6.7 мм x 8.3 мм |
|
Наклонные металлические решетки |
Шесть областей, каждая 2 мм x 6.7 мм Углы наклона: 0°, 18°, 36°, 54°, 72°, 90° |
|
Матрица типа «bow-tie» из метаматериала |
Длина 300 мкм, зазор 5 мкм |
|
Асимметричная двойная щелевая матрица из метаматериала |
Ширина щелей 3 мкм и расстояние между ними 6 мкм |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
