Падающий луч источника света с диапазоном длин волн 200-1700 нм вертикально светит на поверхность тонкой пленки. Когда происходит прохождение света через тонкую пленку, ATGX310 Optosky может использовать свет, отраженный через верхнюю и нижнюю границы тонкой пленки, для создания интерференционной картины. В сочетании с показателем преломления материала полученные данные, могут быть использованы для расчета толщины материалов.
Какова структура системы измерения тонких пленок?
|
Тонкопленочная измерительная система состоит из волоконно-оптического спектрометра (ATP3010P), держателя R3 (R3), дейтериевых галогенных источников света (ATG1020), волоконного коллиматора (FIBH-2-UV) и УФ-волокна (FIB-600-UV). Применения: - Полупроводниковое производство; - Медицинские приборы; - Очки, солнцезащитные очки, солнцезащитная пленка; - Различные оптические элементы, фильтры и т. д.; - Плоское стекло, пластиковое изделие; - Дисплей мобильного телефона, LCD; - Другие прозрачные или полупрозрачные материалы. |
Каков принцип системы измерения тонких пленок?
Максимальный диапазон измерения от 10 нм до 250 мкм, можно измерить даже полную толщину 3-слойной пленки. Внутри основные элементы включают в себя сверхчувствительный спектрометр высокого разрешения ATP3010P, матрицу CCD на 4096 пикселей. Показания спектров в программном обеспечении показывают колебания, вызванные оптическими помехами в слоях тонкопленочных веществ. Усовершенствованный алгоритм ПО обеспечивает надежные и точные результаты измерений. Подключите к USB-порту ПК, не нужно тратить время на предварительный нагрев источника света или правильную базовую линию, большая точность встроенного спектрометра исключает техническое обслуживание, а уникальная структура темной камеры гарантирует точные результаты. Срок службы источника света 4000 часов.
|
|
Характеристики: Оптическая система: - Дейтериевый галогеновый источник света; - Коллимирующее зеркало; - Приемник: Оптоволоконный спектрометр; - Длина волны: 200-1100 нм; - Измеряемый диапазон: 0-100%. Технические характеристики: - Погрешность длины волны: ± 0,5 нм; - Воспроизводимость длины волны: ≤0.2 нм; - Спектральная полоса пропускания: 1 нм; - Рассеяние света: ≤0.05%; - Точность пропускания: ± 0.5%;
- Воспроизводимость коэффициента пропускания: ≤0.5%. |
Технические характеристики систем измерения толщины тонких пленок ATGX310 Optosky:
|
Параметр |
ATGX310-VIS |
ATGX310-XR |
ATGX310-DUV |
ATGX310-NIR |
|
Рабочий диапазон длин волн |
400-850 нм |
250-1060 нм |
190-1100 нм |
900-1700 нм |
|
Диапазон измеряемых толщин |
50 нм-20 нм |
10 нм-100 нм |
1 нм-100 нм |
100 нм-250 нм |
|
Разрешение измерения толщины |
0.1 нм |
0.1 нм |
0.1 нм |
0.1 нм |
|
Стабильность |
0.3 нм |
0.3 нм |
0.3 нм |
0.1 нм |
|
Угол падения |
90℃ |
|||
|
Допустимое количество слоёв в плёнке |
До 10 слоёв |
|||
|
Типы материалов |
Прозрачный / полупрозрачный |
|||
|
Режимы измерения |
Отражение и пропускание |
|||
|
Грубое измерение толщины плёнки |
Да |
|||
|
Скорость измерения |
Минимум 1 мс |
|||
|
Online |
Y |
Y |
Y |
Y |
|
Размер светового пятна |
Стандартно: от 200 мкм до 400 мкм |
|||
|
Под заказ: 100 мкм |
||||
|
Настройка микроскопа |
Y |
|||
|
ПЗС-визуализация |
Y |
|||
|
Параметры сканирования |
150 мм Х 300 мм |
150 мм Х 300 мм |
150 мм Х 300 мм |
150 мм Х 300 мм |
|
XY платформа сканирования |
||||
|
Вакуум |
Y |
|||
|
Поставщик
|
Optosky |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
