Z-пьезоплатформы серии P-620.Z - P-622.Z предназначены для вертикального высокоточного перемещения объектов массой до 1 кг на диапазон до 250 мкм (в режиме с обратной связью). Если платформы используются в режиме без обратной связи (координата определяется, например, с помощью внешнего датчика), то максимальный диапазон перемещения составит 400 мкм.
Данные позиционеры имеют компактные габариты, что позволяет их использовать в условиях ограниченного пространства. Основой привода данных платформ является пьезоактуатор P-883/ P-885 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы. Платформы оснащены ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Вместе с системой обратной связи это позволяет скомпенсировать нелинейные эффекты, связанные с пьезокерамикой и достичь повторяемости перемещения в нанометровом диапазоне.
Существует возможность конструирования двух- и трёхкоординатных систем вместе с линейными однокоординатными платформами P-620.1 - P-629.1 и двухкоординатными платформами P-620.2 - P‑629.2. Для управления данными платформами производитель выпускает цифровой контроллер серии E-709 с интерфейсами USB, RS-232, SPI для обмена данными с ПК.
Применения:
- Интерферометрия;
- Метрология;
- Полупроводниковая промышленность;
- Микроскопия;
- Лазерные технологии.
Технические характеристики:
|
Характеристики |
P-620.ZCD / P-620.ZCL |
P-621.ZCD / P-621.ZCL |
P-622.ZCD / P-622.ZCL |
Единица измерения |
Допуск |
|
Направление перемещения |
Z |
Z |
Z | ||
|
Тип встроенного датчика |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный | ||
|
Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) |
65 |
140 |
400 |
мкм |
Мин. (20%/-0%) |
|
Диапазон перемещений с обратной связью |
50 |
100 |
250 |
мкм | |
|
Разрешение без обратной связи |
0.1 |
0.2 |
0.5 |
нм | |
|
Разрешение с обратной связью |
0.2 |
0.3 |
1 |
нм |
Тип. |
|
Нелинейность |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
% |
Тип. |
|
Точность повторного позиционирования |
±1 |
±1 |
±1 |
нм |
Тип. |
|
Отклонение вокруг осей X/Y |
<20 |
<20 |
<80 |
мкрад |
Тип. |
|
Жёсткость |
0.5 |
0.6 |
0.24 |
Н/мкм |
±20% |
|
Резонансная частота без нагрузки |
1000 |
790 |
360 |
Гц |
±20% |
|
Резонансная частота с нагрузкой 30 г |
690 |
500 |
270 |
Гц |
±20% |
|
Толкающее/тянущее усилие |
10/5 |
10/8 |
10/8 |
Н |
Макс. |
|
Допустимая нагрузка |
10 |
10 |
10 |
Н |
Макс. |
|
Допустимая боковая нагрузка |
10 |
10 |
10 |
Н |
Макс. |
|
Тип пьезокерамики |
PICMA® P-883 |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-885 | ||
|
Электрическая ёмкость |
0.7 |
3 |
6.2 |
мкФ |
±20% |
|
Динамический коэффициент рабочего тока |
1.8 |
3.8 |
3.1 |
мкА/ (Гц*мкм) |
±20% |
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
°С | |
|
Материал |
Алюминий |
Алюминий |
Алюминий | ||
|
Габариты |
30 мм × 30 мм × 15 мм |
40 мм × 40 мм × 17.5 мм |
50 мм × 50 мм × 17.5 мм | ||
|
Масса |
0.12 |
0.17 |
0.24 |
кг |
±5% |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
м |
±10 мм |
|
Тип разъёма для датчика/ сигнального кабеля |
Sub-D/LEMO |
Sub-D/LEMO |
Sub-D/LEMO |
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
