Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 представлены несколькими моделями, обеспечивающими линейное перемещение на максимальную дистанцию от 60 до 1800 мкм. Модели серии P‑620.1 - P-629.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности. Одним из преимуществ платформ серии P‑620.1 - P-629.1 является малое время отклика. Например, модель P-622.1CD позволяет переместиться на 10 нм за 30 мс. Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи. Пьезоплатформы без обратной связи часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др.
При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения. В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
Доступны пьезоплатформы в вакуумном (до 10-9 гПа) исполнении, каталожный номер: P‑62x.1UD
Помимо однокоординатных моделей P‑620.1 - P-629.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P-620.Z - P-622.Z для вертикального перемещения и двухкоординатные P-620.2 – P‑629.2 (XY) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи.
Применения:
- Интерферометрия;
- Метрология;
- Полупроводниковая промышленность;
- Микроскопия;
- Лазерные технологии.
Технические характеристики:
|
Характеристика |
P-620.1CD/ P-620.1CL |
P-621.1CD/ P-621.1CL |
P-622.1CD/ P-622.1CL |
P-625.1CD/ P-625.1CL |
P-628.1CD/ P-628.1CL |
P-629.1CD/ P-629.1CL |
P-62x.10L (без датчика) |
Ед. измерения |
|
Направление перемещения |
X |
X |
X |
X |
X |
X |
X | |
|
Характеристики движения и позиционирования | ||||||||
|
Встроенный сенсор |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
- | |
|
Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) |
60 |
120 |
300 |
600 |
950 |
1800 |
Равный P-62x.1CD |
мкм |
|
Диапазон перемещений с обратной связью |
50 |
100 |
250 |
500 |
800 |
1500 |
- |
мкм |
|
Разрешение без обратной связи / c обратной связью |
0.2 / 0.1 |
0.4 / 0.2 |
0.7 / 0.4 |
1.4 / 0.5 |
1.8 / 0.5 |
3 / 2 |
Равный P-62x.1CD |
нм |
|
Нелинейность |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.03* |
0.03** |
- |
% |
|
Точность повторного позиционирования |
±1 |
±1 |
±1 |
±5 |
±10 |
±14 |
- |
нм |
|
Отклонение вокруг осей Y / Z |
±3 |
±3 |
±3 |
±6 |
±6 |
±10 |
Равный P-62x.1CD |
мкрад |
|
Механические характеристики | ||||||||
|
Жесткость |
0.42 |
0.35 |
0.2 |
0.1 |
0.12 |
0.13 |
Равный P-62x.1CD |
Н/мкм |
|
Резонансная частота без нагрузки |
1100 |
800 |
400 |
215 |
125 |
125 |
Равный P-62x.1CD |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 20 г |
550 |
520 |
340 |
180 |
115 |
120 |
Равный P-62x.1CD |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 120 г |
260 |
240 |
185 |
110 |
90 |
110 |
Равный P-62x.1CD |
Гц |
|
Толкающая/тянущая сила |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
Равный P-62x.1CD |
Н |
|
Максимальная нагрузка |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
Равный P-62x.1CD |
Н |
|
Максимальное боковое усилие |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
8 |
Равный P-62x.1CD |
Н |
|
Характеристики двигателя | ||||||||
|
Тип пьезокерамики |
PICMA® P-883 |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-887 |
PICMA® P-888 |
Равный P-62x.1CD | |
|
Электрическая ёмкость |
0.35 |
1.5 |
3.1 |
6.2 |
19 |
52 |
Равный P-62x.1CD |
мкФ |
|
Динамический коэффициент рабочего тока |
0.9 |
1.9 |
1.9 |
1.6 |
3 |
4.3 |
Равный P-62x.1CD |
мкА/ (Гц*мкм) |
|
Прочие условия | ||||||||
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +150 |
°С |
|
Материал |
Алюминий | |||||||
|
Масса |
0.11 |
0.16 |
0.2 |
0.24 |
0.38 |
0.72 |
Равный P-62x.1CD |
кг |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
м |
|
Разъём: CD-version / CL-version |
Sub-D special / LEMO |
Sub-D special / LEMO |
Sub-D special / LEMO |
Sub-D special / LEMO |
Sub-D special / LEMO |
Sub-D special / LEMO |
LEMO (без датчика) |
|
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
