Актуатор/платформа Р-753 является компактным высокоскоростным нанопозиционером, который может работать в качестве актуатора или платформы.
Устройство оборудовано пьезоприводом, ёмкостными датчиками положения, которые позволяют измерять позицию платформы бесконтактно. Использование обратной связи повышает линейность и точность повторного позиционирования, пользователь может определить текущую координату устройства. Информация о текущем местонахождении устройства поступает в контроллер, который подаёт корректирующий (управляющий) сигнал обратно на усилитель. Разрешение при позиционировании с обратной связью составляет менее 1 нм, частотный диапазон работы актуатора/платформы может составлять до 10 кГц.
«CD» версии P-753 (с Sub-D разъёмом) оборудованы ID чипом, который хранит данные о каждой конкретной модели и параметры сервопривода. Эти данные автоматически считываются цифровыми пьезоконтроллерами PI с помощью функции автокаллибровки. Таким образом, платформы с ID чипом и контроллеры могут использоваться в различных комбинациях.
Актуатор/платформа P-753 оснащена преднагруженными пьезоактуаторами серии PICMA, которые образуют систему привода. Использование преднагрузки позволяет в некоторой степени скомпенсировать силы растяжения пьезокерамики, что повышает срок службы устройства при работе в условиях высокодинамичных перемещений.
Применения:
- Метрология;
- Нанопозиционирование;
- Сканирующая микроскопия;
- Фотоника, оптика;
- Интерферометрия;
- Микроманипулирование.
Доступны вакуумные и немагнитные вакуумные (до 10-9 гПа) версии актуаторов/платформ серии P-753. Каталожные номера моделей - P-753.xUD и P‑753.xND соответственно.
Технические характеристики серии C:
|
Модель |
P-753.11C |
P-753.21C |
P-753.31C |
Единица измерения |
Допуск |
|
Направления перемещения |
Х |
Х |
Х | ||
|
Тип встроенного сенсора |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный | ||
|
Диапазон перемещения с обратной связью |
15 |
30 |
38 |
мкм | |
|
Разрешение с обратной связью/без обратной связи |
0.1 |
0.2 |
0.25 |
нм | |
|
Линейность (с обратной связью) |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
% | |
|
Точность повторного позиционирования |
±1 |
±2 |
±3 |
нм | |
|
Отклонение вокруг горизонтальной оси Y (Pitch) вертикальной оси Z (Yaw) |
±5 |
±7 |
±10 |
мкрад | |
|
Жёсткость в направлении перемещения |
45 |
24 |
16 |
Н/мкм |
±20 % |
|
Резонансная частота без нагрузки |
5.6 |
3.7 |
2.9 |
кГц |
±20 % |
|
Резонансная частота с нагрузкой 200 г |
2.5 |
1.7 |
1.4 |
кГц |
±20 % |
|
Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения |
100/20 |
100/20 |
100/20 |
Н |
Макс. |
|
Допустимая нагрузка (при вертикальном/горизонтальном креплении) |
10/2 |
10/2 |
10/2 |
кг |
Макс. |
|
Тип керамики |
PICMA P-885 |
PICMA P-885 |
PICMA P-885 | ||
|
Электрическая ёмкость |
1.5 |
3.1 |
4.6 |
мкФ |
±20 % |
|
Динамический коэффициент рабочего тока |
12 |
15 |
15 |
мкА/(Гц*мкм) | |
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
°С | |
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь | ||
|
Габариты |
44 х 30 х 15 |
44 х 30 х 62 |
44 х 30 х 80 |
мм | |
|
Масса |
0.15 |
0.205 |
0.25 |
кг |
±5 % |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
м |
±10 мм |
|
Тип разъёма для сенсора/ сигнального кабеля |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
Технические характеристики серии CD:
|
Модель |
P-753.1CD |
P-753.2CD |
P-753.3CD |
Единица измерения |
Допуск |
|
Направления перемещения |
Х |
Х |
Х | ||
|
Тип встроенного сенсора |
Ёмкостный |
Ёмкостный |
Ёмкостный | ||
|
Диапазон перемещения с обратной связью |
15 |
30 |
38 |
мкм | |
|
Разрешение с обратной связью/без обратной связи |
0.1 |
0.2 |
0.25 |
нм | |
|
Линейность (с обратной связью) |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
% | |
|
Точность повторного позиционирования |
±1 |
±2 |
±3 |
нм | |
|
Отклонение вокруг горизонтальной оси Y (Pitch) вертикальной оси Z (Yaw) |
±5 |
±7 |
±10 |
мкрад | |
|
Жёсткость в направлении перемещения |
45 |
24 |
16 |
Н/мкм |
±20 % |
|
Резонансная частота без нагрузки |
5.6 |
3.7 |
2.9 |
кГц |
±20 % |
|
Резонансная частота с нагрузкой 200 г |
2.5 |
1.7 |
1.4 |
кГц |
±20 % |
|
Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения |
100/20 |
100/20 |
100/20 |
Н |
Макс. |
|
Допустимая нагрузка (при вертикальном/горизонтальном креплении) |
10/2 |
10/2 |
10/2 |
кг |
Макс. |
|
Тип керамики |
PICMA P-885 |
PICMA P-885 |
PICMA P-885 | ||
|
Электрическая ёмкость |
1.5 |
3.1 |
4.6 |
мкФ |
±20 % |
|
Динамический коэффициент рабочего тока |
12 |
15 |
15 |
мкА/(Гц*мкм) | |
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
°С | |
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь |
Нержавеющая сталь | ||
|
Габариты |
44 х 30 х 15 |
44 х 30 х 62 |
44 х 30 х 80 |
мм | |
|
Масса |
0.16 |
0.215 |
0.26 |
кг |
±5 % |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
м |
±10 мм |
|
Тип разъёма для сенсора/ сигнального кабеля |
Sub-D |
Sub-D |
Sub-D |
Рекомендуемый контроллер/усилитель:
- Для моделей с LEMO разъёмом: модуль E-500 с усилителем Е-505 и сервоконтроллером Е-509;
- Для моделей с Sub-D разъёмом: OEM модуль Е-610; настольный контроллер Е-625; мощный настольный контроллер с дисплеем Е-665; цифровой контроллер Е-753.
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
