Z-пьезоплатформа серии P-733.Z предназначена для вертикального перемещения объектов с массой до 5 кг на дистанцию 100 мкм (в режиме с обратной связью). Апертура размером 50 х 50 мм позволяет использовать платформу во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения излучения через подвижный элемент. Основой привода данной платформы является пьезоактуатор P-885 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы. Платформа серии P-733.Z оборудована ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Измерение величины перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи. Пьезоплатформа обладает высокими динамическими характеристиками. К примеру, при перемещении на 100 мкм время стабилизации составляет 11.4 мс.
Доступны версии платформы для работы в условиях вакуума, а также для XY/XYZ позиционирования.
Технические характеристики:
|
Характеристика |
P-733.ZCD / P-733.ZCL |
Единица измерения |
Допуск |
|
Направление перемещения |
Z | ||
|
Тип встроенного датчика |
Ёмкостный | ||
|
Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) |
115 |
мкм |
Мин. (20%/-0%) |
|
Диапазон перемещений с обратной связью |
100 |
мкм | |
|
Разрешение без обратной связи |
0.2 |
нм |
Тип. |
|
Разрешение с обратной связью |
0.3 |
нм |
Тип. |
|
Нелинейность |
0.03 |
% |
Тип. |
|
Точность повторного позиционирования |
<2 |
нм |
Тип. |
|
Отклонение вокруг оси Z |
<10 |
мкрад |
Тип. |
|
Отклонение вокруг оси X |
<5 |
мкрад |
Тип. |
|
Отклонение вокруг оси Y |
<5 |
мкрад |
Тип. |
|
Жёсткость |
2.5 |
Н/мкм |
±20% |
|
Резонансная частота без нагрузки |
700 |
Гц |
±20% |
|
Резонансная частота с нагрузкой 120 г |
530 |
Гц |
±20% |
|
Резонансная частота с нагрузкой 200 г |
415 |
Гц |
±20% |
|
Толкающее/тянущее усилие |
50/20 |
Н |
Макс. |
|
Тип пьезокерамики |
PICMA® P-885 | ||
|
Электрическая ёмкость |
6 |
мкФ |
±20% |
|
Динамический коэффициент рабочего тока |
7.5 |
мкА / (Гц*мкм) |
±20% |
|
Диапазон рабочих температур |
От +20 до +80 |
°С | |
|
Материал |
Алюминий | ||
|
Габариты |
100х100×25 |
мм | |
|
Масса |
580 |
г |
±5% |
|
Длина кабеля |
1.5 |
м |
±10 мм |
|
Тип разъёма для датчика |
Sub-D/2× LEMO | ||
|
Тип разъёма для сигнального кабеля |
Sub-D/1× LEMO |
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
