Серия P-611.Z представлена однокоординатными линейными пьезоплатформами, предназначенными для перемещения нагрузок до 1.5 кг в направлении оси Z (вертикально вверх) на диапазон до 100 мкм (в режиме обратной связи). Данные позиционеры отличаются компактными габаритами (44х44х27), что позволяет использовать их в условиях ограниченного рабочего пространства.
Серия P-611.Z представлена двумя модификациями: P-611.ZS и P-611.Z0. В позиционер P-611.ZS встроен тензометрический датчик, который позволяет добиться высокой повторяемости при позиционировании (менее 10 нм). Версия P-611.Z0 может использоваться в приложениях, где положение платформы контролируется внешним датчиком. Основой привода пьезоплатформ P-611.Z является пьезоактуатор серии PICMA P-885, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.
Позиционеры P-611.Z отличаются малым временем отклика. Например, для перемещения нагрузки в 30 г на расстояние 10 мкм требуется 26 мс.
Помимо пьезоплатформ, перемещающихся вдоль Z направления, компания PI выпускает однокоординатные платформы P-611.1 для перемещения вдоль оси X, двухкоординатные P-611.2, P-611.XZ (XY, XZ) и трёхкоординатные P-611.3 (XYZ) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с тензометрическим сенсором, так и без датчика обратной связи.
Применения:
- Интерферометрия;
- Метрология;
- Полупроводниковая промышленность;
- Микроскопия;
- Лазерные технологии.
Технические характеристики:
|
Характеристика |
P-611.ZS |
P-611.Z0 |
Ед. изм. |
|
Направление перемещения |
Z |
Z | |
|
Характеристики движения и позиционирования | |||
|
Встроенный сенсор |
Тензометрический |
- | |
|
Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) |
120 |
120 |
мкм |
|
Диапазон перемещений с обратной связью |
100 |
- |
мкм |
|
Разрешение без обратной связи |
0.2 |
0.2 |
нм |
|
Разрешение с обратной связью |
2 |
- |
нм |
|
Нелинейность |
0.1 |
- |
% |
|
Точность повторного позиционирования |
< 10 |
- |
нм |
|
Отклонение от поперечной оси Y (Pitch) |
±5 |
±5 |
мкрад |
|
Отклонение от вертикальной оси Z (Yaw) |
±5 |
±5 |
мкрад |
|
Механические характеристики | |||
|
Жёсткость в направлении перемещения |
0.45 |
0.45 |
Н/мкм |
|
Резонансная частота без нагрузки |
460 |
460 |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 30 г |
375 |
375 |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 100 г |
265 |
265 |
Гц |
|
Толкающая / тянущая сила |
15 / 10 |
15 / 10 |
Н |
|
Характеристики двигателя | |||
|
Тип пьезокерамики |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-885 | |
|
Электрическая ёмкость |
1.5 |
1.5 |
мкФ |
|
Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC) |
1.9 |
1.9 |
мкА/ (Гц*мкм) |
|
Прочие условия | |||
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
°С |
|
Материал |
Алюминий, сталь |
Алюминий, сталь | |
|
Масса |
176 |
176 |
г |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
м |
|
Тип разъёма напряжение / датчик |
LEMO / LEMO |
LEMO / - |
|
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
