В серии P-611.1 представлены однокоординатные линейные пьезоплатформы, предназначенные для перемещения нагрузки массой до 1.5 кг на дистанцию до 120 мкм. Пьезоплатформы сочетают в себе компактные габариты (44 х 44 х 17 мм), миллисекундное время отклика и высокую точность позиционирования. Модели серии Р-611.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности. В серии Р-611.1 представлены две модели: Р‑611.1S и Р-611.10. Платформа Р‑611.1S оснащена тензометрическим (SGS) датчиком обратной связи, позволяющим добиться высокой точности повторного позиционирования.
Модель P-611.10 не оснащается датчиком обратной связи и хорошо подходит для задач, требующих малого времени отклика, высокого разрешения, но не требующих точного знания положения платформы. Пьезоплатформы без обратной связи также часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др. При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения.
В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
Помимо однокоординатных моделей P-611.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P‑611.Zx для вертикального (Z) перемещения, двухкоординатные P-611.2, P-611.XZ (XY, XZ) и трёхкоординатные P-611.3 (XYZ) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с тензометрическим сенсором, так и без датчика обратной связи.
Применения:
- Интерферометрия;
- Метрология;
- Полупроводниковая промышленность;
- Микроскопия;
- Лазерные технологии.
Технические характеристики:
|
Характеристика |
P-611.1S |
P-611.10 |
Ед. изм. |
|
Направление перемещения |
X |
X | |
|
Характеристики движения и позиционирования | |||
|
Встроенный сенсор |
Тензометрический | ||
|
Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) |
120 |
120 |
мкм |
|
Диапазон перемещений с обратной связью |
100 |
- |
мкм |
|
Разрешение без обратной связи |
0.2 |
0.2 |
нм |
|
Разрешение с обратной связью |
2 |
- |
нм |
|
Нелинейность |
0.1 |
- |
% |
|
Точность повторного позиционирования |
< 10 |
- |
нм |
|
Отклонение от вокруг поперечной оси Y (Pitch) |
±5 |
±5 |
мкрад |
|
Отклонение от вокруг вертикальной оси Z (Yaw) |
±20 |
±20 |
мкрад |
|
Плоскопараллельность в плоскости X, Y |
±15 |
±25 |
нм |
|
Плоскопараллельность |
10 |
10 |
нм |
|
Механические характеристики | |||
|
Жёсткость в направлении перемещения |
0.2 |
0.2 |
Н/мкм |
|
Резонансная частота без нагрузки |
400 |
400 |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 30 г |
300 |
300 |
Гц |
|
Резонансная частота с нагрузкой 100 г |
195 |
195 |
Гц |
|
Толкающая / тянущая сила |
15 / 10 |
15 / 10 |
Н |
|
Максимальная нагрузка |
15 |
15 |
Н |
|
Характеристики двигателя | |||
|
Тип пьезокерамики |
PICMA® P-885 |
PICMA® P-885 | |
|
Электрическая ёмкость |
1.5 |
1.5 |
мкФ |
|
Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC) |
1.9 |
1.9 |
мкА/ (Гц*мкм) |
|
Прочие условия | |||
|
Диапазон рабочих температур |
От -20 до +80 |
От -20 до +80 |
°С |
|
Материал |
Алюминий, сталь |
Алюминий, сталь | |
|
Масса |
0.135 |
0.135 |
кг |
|
Длина кабеля |
1.5 |
1.5 |
м |
|
Тип разъёма напряжение / датчик |
LEMO / LEMO |
LEMO / - | |
|
Поставщик
|
Physik Instrumente (PI) |
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
