Пьезоприводы серии PU, ось перемещений: X, смещение: 40 – 100 мкм

Пьезоприводы серии PU Piezosystem Jena представляют собой цельную металлическую деталь с гибкой системой направляющих. Данная конструкция обеспечивает превосходную стабильность, а создание предварительного натяга – работу в динамическом режиме. Направляющие, спроектированные с применением метода конечных элементов (МКЭ) гарантируют отсутствие трения и высокую прочность. Данные системы могут выдерживать нагрузки величиной до 240 Н и обеспечивают смещение вдоль одной оси на 40 – 100 мкм. Данные приводы могут быть установлены и в вертикальном и в горизонтальном положении.

PU приводы Piezosystem Jena отлично подходят для промышленных применений, требующих суб-нанометрового разрешения. Привод PU 65 HR обладает высокой резонансной частотой и оптимизирован для задач сканирования.

Трансляторы Piezosystem Jena могут быть оснащены встроенной системой измерения деформаций для обеспечения обратной связи (ОС). Модели с суффиксом SG оборудованы тензометрическим датчиком, с суффиксом CAP - емкостным датчиком. По запросу пользователя система может быть подготовлена для работы в условиях вакуума или сверхнизких температур, а также изготовлена из немагнитной стали, анодированного алюминия или титана.

Особенности:

- Предварительный натяг;

- Высокая жесткость;

- Компактные размеры;

- Поступательное движение (параллелограммный механизм);

- Смещение вдоль 1 оси: 40 – 100 мкм;

- Интеграция измерительной системы (опция).

Технические характеристики пьезоприводов серии PU 40 / 90 / 100 Piezosystem Jena:

Параметры		ед. изм.	PU 40	PU 90	PU 100
Чертеж
Объединяются в 3-осную систему****		-	да	да	да
Макс. смещение моделей без ОС (±10%)*		мкм	40	90	100
Макс. смещение моделей с ОС (±10%)*		мкм	32 (PU 40 SG)	72 (PU 90 SG)	80 (PU 100 SG)
Емкость (±20%)**		мкФ	0.7	1.7	1.7
Встроенная измерительная система		-	датчик деформаций (PU 40 SG)	датчик деформаций (PU 90 SG)	датчик деформаций (PU 100 SG)
Разрешение (без ОС)***		нм	0.08	0.18	0.2
Разрешение (с ОС)***		мкм	0.8 (PU 40 SG)	1.8 (PU 90 SG)	2.0 (PU 100 SG)
Резонансная частота		Гц	1270	350	340
Стабильность (тип.)		нм	33 (PU 40 SG)	59 (PU 90 SG)	59 (PU 100 SG)
Жесткость		Н/мкм	0.8	1.5	1.54
Макс. толкающее усилие		Н	32	135	135
Макс. сила тяги		Н	3	13	13
Рабочий диапазон напряжений		В	-20...+130	-20...+130	-20...+130
Разъем	Напряжение	-	LEMO 0S.302	LEMO 0S.302	LEMO 0S.302
	Сенсор	-	LEMO 0S.304 (PU 40 SG)	LEMO 0S.304 (PU 90 SG)	LEMO 0S.304 (PU 100 SG)
Длина кабеля		м	1 1.2 (PU 40 SG)	1 1.2 (PU 90 SG)	1 1.2 (PU 100 SG)
Материал		-	нержавеющая сталь	нержавеющая сталь	нержавеющая сталь
Габаритные размеры (Д х Ш х В)		мм	28.5 x 14 x 14	50.5 x 25 x 25	50.5 x 25 x 25
Вес		г	27	72 74 (PU 90 SG)	72 74 (PU 100 SG)

Примечания:

* Типичное значение, измеренное контроллером NV 40/3 и NV 40/3CLE ;

** Типичное значение для малой напряженности электрического поля;

*** Разрешение ограничено только шумом усилителя мощности и системой измерения;

**** По запросу возможно изготовление трехосных систем PU XYZ с встроенным датчиком деформаций.

Технические характеристики пьезоприводов серии PU 65 HR Piezosystem Jena:

Параметры	ед. изм.	PU 65 HR
Чертеж
Объединяются в 3-осную систему****	-	нет
Макс. смещение моделей без ОС (±10%)*	мкм	65
Емкость (±20%)**	мкФ	1.7
Разрешение (без ОС)***	нм	0.13
Резонансная частота	Гц	1320
Жесткость	Н/мкм	0.75
Макс. толкающее усилие	Н	48
Макс. сила тяги	Н	4
Рабочий диапазон напряжений	В	-20…+130
Разъем для напряжения	-	LEMO 0S.302
Длина кабеля	м	1
Материал	-	алюминий
Габаритные размеры (ДхШхВ)	мм	50 x 26 x 9
Вес	г	28

Примечания:

* Типичное значение, измеренное контроллером NV 40/3 и NV 40/3CLE ;

** Типичное значение для малой напряженности электрического поля;

*** Разрешение ограничено только шумом усилителя мощности и системой измерения;