LMU-3X-193 – фокусирующий объектив MicroSpot, 3X, для глубоко-УФ диапазона 192–194 нм (ArF-лазеры), числовая апертура 0,08, Thorlabs.
Описание
LMU-3X-193 – “младшая” модель в линейке DUV-объективов MicroSpot для длины волны 193 нм. В отличие от старших 10X и 15X моделей, он обеспечивает более крупное фокусное пятно, но при этом даёт увеличенную глубину фокуса и более мягкие требования к юстировке и позиционированию образца. Это удобно в тех случаях, когда не требуется экстремальное разрешение, но важны стабильность процесса и более “толерантный” фокус.
Узкополосное просветляющее покрытие 192–194 нм позволяет эффективно работать именно с ArF-лазерами, минимизируя отражения и потери мощности в глубоком УФ. Оптическая схема из кварца и CaF₂ с воздушными промежутками даёт хорошую коррекцию аберраций в DUV-диапазоне и высокий порог лазерного повреждения. Бесконечно скорректированная конструкция даёт возможность интеграции в сложные оптические тракты, где между объективом и tube-линзой размещаются дополнительные узлы (фильтры, модуляторы, шторки).
Из-за меньшей числовой апертуры (NA 0,08) LMU-3X-193 особенно полезен там, где нужен компромисс между размером пятна и рабочим диапазоном по высоте, например, в обработке трёхмерных структур, толстых слоёв или при сниженных требованиях к точности позиционирования. При этом он сохраняет все преимущества серии MicroSpot по стойкости и стабильности параметров.
Отрасли применения:
- Глубоко-УФ обработка и экспонирование с минимально критичной фокусировкой (193 нм).
- Технологические процессы, где важна более высокая глубина фокуса при сохранении DUV-диапазона.
- Исследования взаимодействия DUV-излучения с материалами и покрытиями.
- Этапы грубой DUV-обработки перед высокоточным экспонированием мелкими пятнами.
Характеристики
- Тип: DUV-объектив MicroSpot.
- Увеличение: 3X.
- Диапазон просветляющего покрытия: 192–194 нм.
- Числовая апертура (NA): 0,08.
- Оптика: кварц и CaF₂, рассчитанные на работу в глубоком УФ.
- Конструкция: бесконечно скорректированная, воздушно-разнесённая.
- Резьба: RMS (0.8"-36).
- Назначение: задачи с DUV-облучением 193 нм при умеренных требованиях к размеру пятна и высокой глубине фокуса.
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
Обратная связь по сайту
Что-то пошло не так или у вас есть идея по улучшению сайта? Сообщите, и мы всё поправим