Описание
LMU-15X-248 ориентирован на самые требовательные задачи микролитографии и микрообработки на длине волны KrF-лазера 248 нм. AR-покрытие, оптимизированное в диапазоне 240–260 нм, снижает отражения до очень низких значений, что критично для высокомощных УФ-лазерных систем. Повышенная числовая апертура 0,32 обеспечивает более крутой конус фокусировки и меньший диаметр пятна по сравнению с 10X-объективом.
Согласно данным чертежей, фокусное расстояние LMU-15X-248 около 13,1 мм, а рабочее расстояние – около 8 мм, что даёт хороший компромисс между компактностью оптической схемы и доступом к образцу. Многолинзовая схема из кварца и CaF₂ с воздушными промежутками обеспечивает высокую устойчивость к импульсным нагрузкам и стабильную геометрию пучка в области фокуса.
Бесконечно скорректированный дизайн и стандартная резьба RMS позволяют легко интегрировать объектив в существующие микроскопные или литографические системы, а также в специализированные установки для микромеханики и исследований. LMU-15X-248 часто выбирают там, где требуется максимальное разрешение и высокая плотность энергии на 248 нм.
Отрасли применения:
- Микролитография высокого разрешения на 248 нм.
- Микрообработка, резка и сверление материалов KrF-лазерами.
- Формирование тонких структур в фотополимерах и тонких плёнках.
- Исследовательские установки по изучению лазерно-индуцированных процессов в УФ-диапазоне.
- Инспекция и калибровка УФ-масок и фотошаблонов.
Характеристики
- Тип: высокомощный УФ-объектив MicroSpot.
- Увеличение: 15X.
- Диапазон AR-покрытия: 240–260 нм (оптимизация под 248 нм).
- Числовая апертура (NA): 0,32.
- Фокусное расстояние: ≈ 13,1 мм.
- Свободное рабочее расстояние: ≈ 8,0 мм.
- Оптические материалы: кварц и CaF₂.
- Конструкция: бесконечно скорректированная, воздушно-разнесённая.
- Резьба: RMS (0.8"-36).
- Назначение: высокое разрешение и высокая плотность энергии на 248 нм.
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
Обратная связь по сайту
Что-то пошло не так или у вас есть идея по улучшению сайта? Сообщите, и мы всё поправим