Описание
LMU-15X-193 предназначен для задач, где требуется максимальное пространственное разрешение и высокая интенсивность при работе с лазерами ArF (193 нм). Повышенная числовая апертура 0,35 существенно уменьшает размер фокусного пятна, что критично для самых тонких операций фотолитографии, формирования субмикронных структур и экспериментов по высокоточной абляции.
Узкополосное AR-покрытие оптимизировано под диапазон 192–194 нм, минимизируя отражения в глубоком УФ и повышая общую эффективность оптической системы. Сложная многолинзовая схема из кварца и CaF₂ с воздушными промежутками обеспечивает хорошую коррекцию аберраций и высокие пороги лазерного повреждения. При этом рабочее расстояние остается достаточным для удобной работы с образцом.
Бесконечно скорректированный дизайн и стандартная резьба RMS позволяют использовать LMU-15X-193 в комбинации с tube-линзой 200 мм и легко интегрировать объектив в микроскопные и литографические установки. Это делает модель удобным “инструментом верхнего уровня” там, где требуется максимально возможное разрешение на 193 нм.
Отрасли применения:
- Высокоточная DUV-фотолитография с субмикронными элементами.
- Микрообработка и структурирование материалов на 193 нм с максимальным пространственным разрешением.
- Разработка и тестирование фотошаблонов и масок для глубоко-УФ процессов.
- Экспериментальные исследования нелинейных эффектов и пробоя воздуха при 193 нм.
- Стенды по оптимизации эксимерных процессов в полупроводниковой промышленности.
Характеристики
- Тип: высокоапертурный DUV-объектив MicroSpot.
- Увеличение: 15X.
- Рабочий диапазон длин волн: 192–194 нм.
- Числовая апертура (NA): 0,35.
- Теоретический размер фокусного пятна: существенно меньше, чем у 10X-моделей серии.
- Оптика: кварц и CaF₂, оптимизированные для 193 нм.
- Конструкция: бесконечно скорректированная, воздушно-разнесённая.
- Резьба: RMS (0.8"-36), совместима с большинством микроскопных систем.
- Назначение: максимальное разрешение на 193 нм в литографии и исследованиях.
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
Обратная связь по сайту
Что-то пошло не так или у вас есть идея по улучшению сайта? Сообщите, и мы всё поправим