Актуаторы серии N-216 NEXLINE являются устройствами линейного нанопозиционирования с высокой нагрузочной способностью (600 Н) и диапазоном перемещения до 20 мм. Принцип работы актуатора основывается на использовании двух типов пьезоэлементов: линейного и сдвигового. Линейные пьезоэлементы закрепляются на основании, на которое действует сила преднагрузки. Пьезоэлементы сдвига контактируют с подвижной частью, перемещая её в двух направлениях. Таким образом, пьезодвигатели NEXLINE позволяют осуществлять перемещения на большие расстояния с высокой точностью. Модели N-216.1A1 и N-216.2A1 оснащены энкодером для точного определения координаты актуатора в каждый момент времени. Разрешение энкодера составляет 5 нм на всём диапазоне перемещения. В режиме без обратной связи разрешение составляет 30 пм. Пьезодвигатели серии NEXLINE используются для перемещения объектов с высокой массой на большие расстояния с высокой точностью. Путём варьирования параметров линейных и сдвиговых пьезоэлементов можно изменять такие параметры как шаг, диапазон перемещения, скорость, жёсткость для достижения наилучшей производительности для различных задач.
Режимы работы линейного актуатора N-216:
- «Шаговый режим» – движение «ног» двигателя осуществляется попарно. Ход пьезоэлементов сдвига определяет шаг позиционирования;
- «Наношаговый режим» – все пьезоэлементы движутся одновременно и находятся в контакте с подвижной частью. В результате актуатор движется равномерно;
- «Непрерывный режим» – движутся только пьезоэлементы сдвига. Все «ноги» двигателя находятся в контакте с подвижной частью.
Применения:
- Полупроводниковая промышленность;
- Устройства для контроля поверхности кристаллических пластин;
- Нанолитография;
- Нанопечать;
- Нанометрология;
- Устройства активного подавления вибраций;
- Позиционирование в сильных магнитных полях.
Технические характеристики:
|
Модель |
N-216.101 / N-216.1A1 |
N-216.201 / N-216.2A1 |
|
Направления перемещения |
Х |
Х |
|
Диапазон перемещения |
20 мм |
20 мм |
|
Разрешение при позиционировании в «шаговом» режиме |
От 10 нм до 10 мкм * |
От 10 нм до 10 мкм * |
|
Диапазон перемещения в «непрерывном» режиме |
±3 мкм |
±3 мкм |
|
Тип встроенного сенсора |
-/линейный энкодер |
-/линейный энкодер |
|
Разрешение без обратной связи |
0.03 нм |
0.03 нм |
|
Разрешение с обратной связью |
-/5 нм |
-/5 нм |
|
Максимальная скорость (10% рабочего цикла в «шаговом» режиме) |
1 мм/с |
1 мм/с |
|
Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «шаговом» режиме) |
0.6 мм/с |
0.6 мм/с |
|
Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «наношаговом» режиме) |
0.4 мм/с |
0.4 мм/с |
|
Толкающее усилие (макс.) ** |
300 Н |
600 Н |
|
Удерживающее усилие (при выключенном питании, мин.) |
400 Н |
800 Н |
|
Тип двигателя |
NEXLINE |
NEXLINE |
|
Рабочее напряжение |
± 250 В |
± 250 В |
|
Диапазон рабочих температур |
От -40 °С до +80 °С |
От -40 °С до +80 °С |
|
Материал корпуса |
Алюминий, нержавеющая сталь |
Алюминий, нержавеющая сталь |
|
Масса |
1150 г |
1250 г |
|
Длина кабеля |
2.0 м |
2.0 м |
|
Тип разъёма |
Sub-D 25 |
Sub-D 25 |
|
Рекомендуемый контроллер |
E-712.1AM |
E-712.1AM |
* В режиме без обратной связи шаг задаётся пользователем. В режиме с обратной связью контроллер оптимизирует величину шага. Величина шага управляется напряжением, подаваемым на пьезоэлементы сдвига, в результате чего изменяется скорость перемещения;
** Указанные характеристики относятся к «шаговому» режиму работы актуатора.
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
Обратная связь по сайту
Что-то пошло не так или у вас есть идея по улучшению сайта? Сообщите, и мы всё поправим