Линейные актуаторы N-111, ось X, 50-70 Н, 10 мм

Линейные актуаторы серии N-111 NEXLINE являются компактными устройствами для нанопозиционирования с диапазоном перемещения 10 мм. Данные актуаторы обладают высоким разрешением и способны развивать усилия до 50 Н. Принцип работы актуатора основывается на использовании двух типов пьезоэлементов: линейного и сдвигового. Линейные пьезоэлементы закрепляются на основании, на которое действует сила преднагрузки. Пьезоэлементы сдвига контактируют с подвижной частью, перемещая её в двух направлениях. Таким образом, пьезодвигатели NEXLINE позволяют осуществлять перемещения на большие расстояния с высокой точностью. Для позиционирования с обратной связью актуатор N-111.2A оснащён линейным энкодером, обеспечивающим разрешение в 5 нм на всём диапазоне перемещения. Пьезодвигатели серии NEXLINE используются для перемещения объектов с высокой массой. На большие расстояния с высокой точностью. Путём варьирования параметров линейных и сдвиговых пьезоэлементов можно изменять такие параметры как шаг, диапазон перемещения, скорость, жёсткость для достижения наилучшей производительности для различных задач.

Режимы работы линейного актуатора N-111:

- «Шаговый режим» – движение «ног» двигателя осуществляется попарно. Ход пьезоэлементов сдвига определяет шаг позиционирования;

- «Наношаговый режим» – все пьезоэлементы движутся одновременно и находятся в контакте с подвижной частью. В результате актуатор движется равномерно;

- «Непрерывный режим» – движутся только пьезоэлементы сдвига. Все «ноги» двигателя находятся в контакте с подвижной частью.

Применения:

- Полупроводниковая промышленность;

- Устройства для контроля поверхности кристаллических пластин;

- Нанолитография;

- Нанопечать;

- Нанометрология;

- Устройства активного подавления вибраций;

- Позиционирование в сильных магнитных полях.

Технические характеристики:

* В режиме без обратной связи шаг задаётся пользователем. В режиме с обратной связью контроллер оптимизирует величину шага. Величина шага управляется напряжением, подаваемым на пьезоэлементы сдвига, в результате чего изменяется скорость перемещения;

** Указанные характеристики достигаются только при использовании актуатора вместе с контроллером E-712;

*** Указанные характеристики достигаются только при использовании актуатора вместе с контроллером E-712. При использовании контроллера E-755 скорости позиционирования соответственно равны 0.1 мм/сек (режим работы с обратной связью), 0.2 мм/сек (режим работы без обратной связи). Максимальная скорость в «наношаговом» режиме рассчитана как наиболее высокая постоянная скорость (без флуктуаций), которая может быть достигнута актуатором;