Гексаподы компании SmarAct серии SmarPod – механизмы с параллельной кинематикой и 6 степенями свободы (3 линейных оси и 3 оси вращения) для высокоточных систем позиционирования. В основе данных гексаподов лежат линейные трансляторы SmarAct. Системы SmarPod невероятно компактны, обладают высокой жесткостью конструкции, малой подвижной массой, а значит улучшенными динамическими характеристиками, и задаваемой пользователем виртуальной точкой вращения.
Благодаря модульной конструкции гексаподов SmarPod, их размеры и мощности могут быть легко адаптированы под меняющиеся требования. Это позволяет осуществлять смещение элементов на расстояния от нескольких сантиметров до метра с нанометровой точностью.
Особенности:
1. Шесть степеней свободы
Гексаподы SmarPod – система позиционирования с параллельной кинематикой и нанометровым разрешением. Управление системой осуществляется путем одновременного движения нескольких линейных трансляторов. Параллельное расположение позиционеров оптимизирует общую устойчивость системы и позволяет управлять всеми 6 степенями свободы.
2. Управление в прямоугольной системе координат
Команды на перемещение представлены в прямоугольных координатах, все трансформации системы прописаны в библиотеках функций управления, что позволяет пользователю давать команду через собственное ПО, графический интерфейс пользователя SmarAct или контроллер с ручным управлением для SmarPod.
3. Задаваемая пользователем точка вращения
4. Большое число опций:
- Модели для работы в условиях вакуума;
- Модели из немагнитных материалов;
- Модели из материалов устойчивых к УФ излучению;
- Модели с дистанционно запрограммированными метками для коротких эталонных перемещений.
5. Высокое разрешение и стабильность
Безлюфтовый механизм позволяет достигнуть перемещений того же порядка величины. что и для линейных трансляторов SmarAct. Минимальное смещение по линейным осям системы – 1 нм, вокруг осей вращения – 1 мкрад. Стабильность позиционирования при двухстороннем движении – 200 нм вдоль осей X, Y и Z и 10 мкм вокруг осей вращения. Для небольших смещений стабильность системы намного выше и точность возрастает до нескольких нанометров (см. графики ниже).
Модели гексаподов SmarAct
|
|
Серия |
SmarPod | |||
|
Модель |
70.42 |
115.25 |
110.45 | ||
|
|
|
|
|
| |
|
Механические свойства |
Макс. нагрузка по вертикали [Н] |
5 |
5 |
5 | |
|
Макс. нагрузка по горизонтали [Н] |
2.5 |
2.5 |
2.5 | ||
|
Размеры [мм2] |
Ø 70 |
Ø 115 |
Ø 110 | ||
|
Высота [мм] |
42 |
25 |
45 | ||
|
Вес [г] |
300 |
400 |
400 | ||
|
Диапазон смещений |
Смещения |
x [мм] |
10 |
11 |
20 |
|
y [мм] |
10 |
11 |
20 | ||
|
z [мм] |
5 |
5 |
11 | ||
|
Вращение |
x [°] |
14 |
18 |
21 | |
|
y [°] |
16 |
20 |
24 | ||
|
z [°] |
28 |
37 |
38 | ||
|
С обратной связью |
Минимальное смещение |
[нм] |
1 |
1 |
1 |
|
[мкрад] |
1 |
1 |
1 | ||
|
Стабильность для всего диапазона смещений |
[нм] |
< ± 200 |
< ± 200 |
< ± 200 | |
|
[мкрад] |
< ± 10 |
< ± 10 |
< ± 10 | ||
|
Стабильность для смещений менее 1 мм [нм] |
< ± 15 |
< ± 15 |
< ± 15 | ||
|
Тип сенсора |
-S, -SC |
-S, -SC |
-S, -SC | ||
|
|
Модели для работы в вакууме |
HV, UHV |
HV, UHV |
HV, UHV | |
|
|
Чертеж | 
| 
| 
| |
|
|
Серия |
SmarPod | |||||
|
Модель |
225.75 |
P-SLC-17 |
P-SLC-24 |
P-SLL |
Wafer-200 | ||
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
Механические свойства |
Макс. нагрузка по вертикали [Н] |
10 |
5 |
10 |
10 |
20 | |
|
Макс. нагрузка по горизонтали [Н] |
5 |
2.5 |
5 |
5 |
| ||
|
Размеры [мм2] |
Ø 225 |
110 x 50 |
> 110 x 90 |
> 250 x 80 |
420 x 430 | ||
|
Высота [мм] |
75 |
67 |
> 68 |
> 67.5 |
93 | ||
|
Вес [г] |
1,000 |
зависит от конфигурации: 300 .. 2000 |
11,000 | ||||
|
Диапазон смещений |
Смещения |
x [мм] |
41 |
48 |
79 .. 119 |
20 .. 1200 |
200 |
|
y [мм] |
41 |
28 .. 48 |
45 .. 119 |
45 .. 119 |
200 | ||
|
z [мм] |
21 |
≤ 9 |
≤ 12 |
≤ 16 |
10 | ||
|
Вращение |
x [°] |
20 |
≤ 28 |
≤ 31 |
≤ 42 |
6 | |
|
y [°] |
23 |
≤ 26 |
≤ 27 |
≤ 33 |
7 | ||
|
z [°] |
41 |
≤ 20 |
≤ 42 |
≤ 42 |
24 | ||
|
С обратной связью |
Минимальное смещение |
[нм] |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
[мкрад] |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 | ||
|
Стабильность для всего диапазона смещений |
[нм] |
< ± 200 |
< ± 200 |
< ± 200 |
< ± 200 |
< ± 200 | |
|
[мкрад] |
< ± 10 |
< ± 10 |
< ± 10 |
< ± 10 |
< ± 10 | ||
|
Стабильность для смещений менее 1 мм [нм] |
< ± 15 |
< ± 15 |
< ± 15 |
< ± 15 |
< ± 15 | ||
|
Тип сенсора |
-S, -SC |
-S, -SC |
-S, -SC |
-S, -SC |
-S, -SC | ||
|
|
Модели для работы в вакууме |
HV, UHV |
HV, UHV |
HV, UHV |
HV |
HV | |
|
|
Чертеж | 
| 
| 
| 
| 
| |
Доступные варианты моделей SmarPod
|
Модели с закодированным датчиком измерения расстояния (-SC) |
|
Модели из немагнитных материалов (-NM) |
|
Модели для работы в вакууме -HV (10-6 мбар), -UHV / -UHVT (10-11 мбар) |
Стабильность линейного движения
|
|
Стабильность вращательного движения
|
|
Стабильность линейного движения при смещении на расстояния до 1 мм
|
|
Оплата продукции производится по безналичному расчету на основании счета либо договора поставки. Компания АЗИМУТ ФОТОНИКС принимает участие в конкурсных торгах (электронных аукционах) на выполнение заказов от бюджетных организаций. Для бюджетных организаций предусмотрена работа с частичной предоплатой в рамках договоров по ФЗ.
Доставка оборудования и компонентов во все регионы России осуществляется транспортными компаниями (Major Express, Гарантпост, СДЭК) с обязательным соблюдением требований к транспортировке и хранению, также возможен самовывоз из нашего офиса в Москве. Условия отправки груза в страны СНГ и ЕАЭС необходимо уточнять отдельно у специалистов нашей компании.
