Гексаподы, перемещение: до 1200 мм, вращение: до 42 °

Гексаподы компании SmarAct серии SmarPod – механизмы с параллельной кинематикой и 6 степенями свободы (3 линейных оси и 3 оси вращения) для высокоточных систем позиционирования. В основе данных гексаподов лежат линейные трансляторы SmarAct. Системы SmarPod невероятно компактны, обладают высокой жесткостью конструкции, малой подвижной массой, а значит улучшенными динамическими характеристиками, и задаваемой пользователем виртуальной точкой вращения.

Благодаря модульной конструкции гексаподов SmarPod, их размеры и мощности могут быть легко адаптированы под меняющиеся требования. Это позволяет осуществлять смещение элементов на расстояния от нескольких сантиметров до метра с нанометровой точностью.

Особенности:

1. Шесть степеней свободы

Гексаподы SmarPod – система позиционирования с параллельной кинематикой и нанометровым разрешением. Управление системой осуществляется путем одновременного движения нескольких линейных трансляторов. Параллельное расположение позиционеров оптимизирует общую устойчивость системы и позволяет управлять всеми 6 степенями свободы.

2. Управление в прямоугольной системе координат

Команды на перемещение представлены в прямоугольных координатах, все трансформации системы прописаны в библиотеках функций управления, что позволяет пользователю давать команду через собственное ПО, графический интерфейс пользователя SmarAct или контроллер с ручным управлением для SmarPod.

3. Задаваемая пользователем точка вращения

4. Большое число опций:

- Модели для работы в условиях вакуума;

- Модели из немагнитных материалов;

- Модели из материалов устойчивых к УФ излучению;

- Модели с дистанционно запрограммированными метками для коротких эталонных перемещений.

5. Высокое разрешение и стабильность

Безлюфтовый механизм позволяет достигнуть перемещений того же порядка величины. что и для линейных трансляторов SmarAct. Минимальное смещение по линейным осям системы – 1 нм, вокруг осей вращения – 1 мкрад. Стабильность позиционирования при двухстороннем движении – 200 нм вдоль осей X, Y и Z и 10 мкм вокруг осей вращения. Для небольших смещений стабильность системы намного выше и точность возрастает до нескольких нанометров (см. графики ниже).

Модели гексаподов SmarAct

	Серия		SmarPod
	Модель		70.42	115.25	110.45
Механические свойства	Макс. нагрузка по вертикали [Н]		5	5	5
	Макс. нагрузка по горизонтали [Н]		2.5	2.5	2.5
	Размеры [мм2]		Ø 70	Ø 115	Ø 110
	Высота [мм]		42	25	45
	Вес [г]		300	400	400
Диапазон смещений	Смещения	x [мм]	10	11	20
		y [мм]	10	11	20
		z [мм]	5	5	11
	Вращение	x [°]	14	18	21
		y [°]	16	20	24
		z [°]	28	37	38
С обратной связью	Минимальное смещение	[нм]	1	1	1
		[мкрад]	1	1	1
	Стабильность для всего диапазона смещений	[нм]	< ± 200	< ± 200	< ± 200
		[мкрад]	< ± 10	< ± 10	< ± 10
	Стабильность для смещений менее 1 мм [нм]		< ± 15	< ± 15	< ± 15
	Тип сенсора		-S, -SC	-S, -SC	-S, -SC
	Модели для работы в вакууме		HV, UHV	HV, UHV	HV, UHV
	Чертеж

	Серия		SmarPod
	Модель		225.75	P-SLC-17	P-SLC-24	P-SLL	Wafer-200
Механические свойства	Макс. нагрузка по вертикали [Н]		10	5	10	10	20
	Макс. нагрузка по горизонтали [Н]		5	2.5	5	5
	Размеры [мм2]		Ø 225	110 x 50	> 110 x 90	> 250 x 80	420 x 430
	Высота [мм]		75	67	> 68	> 67.5	93
	Вес [г]		1,000	зависит от конфигурации: 300 .. 2000			11,000
Диапазон смещений	Смещения	x [мм]	41	48	79 .. 119	20 .. 1200	200
		y [мм]	41	28 .. 48	45 .. 119	45 .. 119	200
		z [мм]	21	≤ 9	≤ 12	≤ 16	10
	Вращение	x [°]	20	≤ 28	≤ 31	≤ 42	6
		y [°]	23	≤ 26	≤ 27	≤ 33	7
		z [°]	41	≤ 20	≤ 42	≤ 42	24
С обратной связью	Минимальное смещение	[нм]	1	1	1	1	1
		[мкрад]	1	1	1	1	1
	Стабильность для всего диапазона смещений	[нм]	< ± 200	< ± 200	< ± 200	< ± 200	< ± 200
		[мкрад]	< ± 10	< ± 10	< ± 10	< ± 10	< ± 10
	Стабильность для смещений менее 1 мм [нм]		< ± 15	< ± 15	< ± 15	< ± 15	< ± 15
	Тип сенсора		-S, -SC	-S, -SC	-S, -SC	-S, -SC	-S, -SC
	Модели для работы в вакууме		HV, UHV	HV, UHV	HV, UHV	HV	HV
	Чертеж

Доступные варианты моделей SmarPod

Стабильность линейного движения

Тестирование интерферометрическим методом 10 шагов – вперед и назад Ширина нага: 10 нм Один шаг каждые 200 мс

Стабильность вращательного движения

Тестирование интерферометрическим методом 10 шагов – вперед и назад Ширина нага: 1 мкрад Один шаг каждые 500 мс

Стабильность линейного движения при смещении на расстояния до 1 мм

Тестирование интерферометрическим методом Смещение: 1 мм Диапазон данных: -30 .. 50 нм среднеквадратичное отклонение: 15 нм