Источники экстремального ультрафиолетового излучения компании Energetiq Technology
Компания Energetiq предлагает источники ультрафиолетового излучения на базе газов ксенона, работающие в экстремальном диапазоне. Данные источники обладают сверхдолгим сроком службы (более 9 000 часов) и широким спектральным диапазоном от УФ до ИК области спектра.
Электромагнитный спектр имеет несколько областей, в которых работают достаточно ограниченное количество детекторов и излучателей. Примерами таких диапазонов могут служить терагерцовая и дальняя инфракрасная области.
В сторону более коротких длин волн существует еще один разрыв в ультрафиолетовой области между глубоким ультрафиолетовым (DUV) и рентгеновским излучением. Эта часть спектра, которая охватывает интервал длин волн примерно от 10 до 50 нм, традиционно имела мало источников, не считая больших синхротронов, которые в основном используются для исследовательских целей.
Недавно на рынке появилось несколько типов более компактных источников, работающих в экстремальном УФ диапазоне (EUV). К ним относятся источники лазерной плазмы (LPP), которые подходят для задач полупроводниковой литографии, и источники разрядной плазмы (DPP), которые могут использоваться для приложений с более низкими требованиями.
Для генерации излучения DUV и EUV диапазонов также подходят газы ксенона, которые используются компанией Energetiq Technology для производства широкополосных источников излучения от ИК до глубокого УФ диапазона. Принцип работы данных устройств основан на том, что непрерывный источник излучения высокой интенсивности сфокусирован на кварцевом баллоне, заполненном ксеноном, который быстро ионизируется, формируя плазму, излучающую в УФ диапазоне. Поскольку конструкция такого источника не требует использования электродов, то срок службы данной системы значительно увеличивается по сравнению с ксеноновыми лампами, где эрозия электродов ограничивает предельный срок службы. Кроме того, непрямое нагревание лазерным лучом, позволяет получать значительно более высокие значения энергии.
Для получения технических консультаций, а также по вопросам приобретения широкополосных источников света компании Energetiq Technology обращайтесь к представителям компании АЗИМУТ ФОТОНИКС.
